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產(chǎn)品資料
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日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W

產(chǎn)品名稱: 日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點: 日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W
*的系統(tǒng)驅動機制,確保氣囊jia運動效果,將脈動減到低。

日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W 的詳細介紹

日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W

日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W


低脈動
*的系統(tǒng)驅動機制,確保氣囊jia運動效果,將脈動減到低。

減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下,減少高達30%的壓縮空氣消耗量。

高持續(xù)壓力
jia的氣囊運動,有效提高壓力的承受能力,以維持穩(wěn)定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力,尤其在單晶圓處理過程中。

無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器,節(jié)省設備空間及安裝費用,例如氟塑料接管等。整體設備的重量/尺寸得以小化。

日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W

日本易威奇iwaki低脈動氣動風囊泵FLP-60W

規(guī)格

大流量 L/min

50

大脈動寬度 MPa

0.06

液體溫度范圍 °C(MPa)
(大壓縮空氣壓力)

5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3)

壓縮空氣壓力范圍 MPa

0.41 ~ 0.5

0.31 ~ 0.4

0.21 ~ 0.3

0.11 ~ 0.2

0.1

gao沖程率 spm

120

140

155

160

大壓縮空氣消耗量 NL/min

464

419

338

252

116

大粘度 mPa·S

50

吸程 m

1

環(huán)境溫度 / 濕度 °C/%RH

0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝)

儲存溫度 / 濕度 °C/%RH

-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝)

操作方式

間隔 /連續(xù)

驅動方式

外部壓縮空氣

接頭尺寸 mm

?25 x ?22 軟管

壓縮空氣接頭尺寸

Rc3/8

空氣端口

?6 一觸式接頭

重量 kg

22



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